合肥工業大學儀器儀表學院(前身為精密儀器系)有著40余年的發展歷史。在歷史的長河中，學院人臥薪嘗膽，艱苦創業，為國家高等教育事業的發展，寫下了絢麗的一頁。
1959年合肥工業大學為適應國家經濟建設對專業人才的需要，創建了精密機械儀器本科專業，使我校成為全國第三所設立該專業的高校。1963年我校培養了第一屆精儀專業本科畢業生。1977年學校調整了專業隸屬關系，成立了以精密儀器學科為主的機械一系。1981年，該系正式取名為精密機械系，1984年改名為精密儀器系(設有精密儀器專業和真空技術與設備專業)。1987年，為適應社會對人才的需求，精密儀器系增設檢測技術與儀器專業。 1997年國家教委對專業目錄進行調整，精密儀器專業和檢測技術與儀器專業和其他儀器儀表類專業并入測控技術與儀器專業。2001年，為適應高等教育發展的需要，精密儀器系正式改建為儀器儀表學院，并增設了光信息科學與技術本科專業。
1978年，精密儀器專業開始招收碩士研究生，1981年，在全國首批獲得精密儀器及機械學科工學碩士學位授予權。1987年，該學科被機械部評為部屬高校重點學科專業。1993年精密儀器及機械學科獲工學博士學位授予權。1999年精密儀器系獲準設立儀器儀表工程工程碩士學位授權點。2000年獲得測試計量技術及儀器學科工學碩士學位授予權。