無源零差偏振激光干涉儀的誤差研究
全部作者: 楊軍 吳冰 劉志海 苑立波 第1作者單位: 哈爾濱工程大學理學院 論文摘要: 基于偏振光的瓊斯矩陣理論,研究了用于納米測量的偏振干涉儀的誤差產(chǎn)生原因和作用機理,目的是為偏振干涉儀光學元件的選擇、光路的調整及其誤差的補償提供依據(jù)。理論研究表明,由于元件性能的不理想和調整的不完善使光束偏振態(tài)產(chǎn)生退化是導致干涉儀測量誤差的主要原因,其中以波片的.差模延遲角誤差最為明顯。基于偏振移相技術的無源0差激光干涉儀其特征是輸出4路相互正交的干涉信號。利用此特點,通過對元件的嚴格篩選和精細調整,并且選用差動信號處理方案,以使干涉儀滿足納米測量的要求。 關鍵詞: 激光;偏振干涉;正交信號;誤差 (瀏覽全文) 發(fā)表日期: 2006年07月07日 同行評議:
1. 引言,郭彥珍等人討論0差干涉儀誤差的情況[12],但沒有分析時沒有考慮采用偏振移相技術的4路接收裝置。(語句修改) 2. 偏振激光干涉儀被消偏振分光棱鏡NPBS 均勻的分成兩束 (這里NPBS 應為非偏振分光棱鏡)。 3. 偏振片誤差分析,圖4 所示為ε P 、α P 、δ 分別連續(xù)變化時干涉儀的誤差函數(shù) f( Δφ ,δ ,α P ,ε P )的特性。(這里圖4應改為圖5)。 此外,誤差分析討論中,若能增加對基于偏振移相技術的4路接收方案與其它技術或其它方案的比較可能更充實。
綜合評價: 修改稿: 注:同行評議是由特聘的同行專家給出的評審意見,綜合評價是綜合專家對論文各要素的評議得出的數(shù)值,以1至5顆星顯示。【無源零差偏振激光干涉儀的誤差研究】相關文章:
6.激光加工的柔性