上海交通大學微納科學技術研究院簡介

　　上海交通大學微納科學技術研究院系學校直屬研究院，是專門從事微米納米科學與技術基礎和應用基礎研究，以原創性成果和經濟建設為目標，開展以非硅微細加工與微機電系統（MEMS）、納米生物醫學、納米電子學與器件的制造技術為主要研究方向的多學科研究平臺。學科交叉明顯，研究條件先進，具有較強的科技攻關和較高的學術水平。目前設有“微電子學與固體電子學”和“納米材料科學與工程”博士點，“微電子學與固體電子學”碩士點，招收和培養來自不同學科的碩士、博士、博士后，設有“薄膜與微細技術”教育部重點實驗室、“微米納米加工技術”國家級重點實驗室。是學校“211”一期、“211”二期、“985”一期重點投資建設單位之一。
研究院位于上海交通大學閔行校區綜合實驗樓。

　　自上世紀九十年代中期起，研究院系統地開展微機電系統、三維非硅微加工技術和單電子器件等方向的應用基礎研究，隨后，相繼開展納米電子學及器件、納米探測器和傳感器、碳納米管、碳化硅晶須和復合材料、各種納米薄膜、納米超順磁性顆粒、納米超順磁性復合微球、樹形分子、金納米粒子等方向的基礎理論及應用技術研究，取得了一系列國內先進水平的科研成果和重要進展：主要在非硅材料的三維微細加工技術中，兆聲波顯影技術、深層微盲區小孔電鑄技術、微復制技術等微制造技術處于國內領先，成為國內三維非硅材料重要加工和研究基地之一；直徑1mm和2mm的電磁型微馬達、重量0.1克的微型直升飛機、模數0.03直徑2mm的微行星齒輪減速器、MEMS密碼鎖、形狀記憶合金薄膜驅動的微泵，單電子特性的原理型晶體管，金剛石鍍層技術，納米碳管制備及排布技術、納米傳感器制備及集成技術、納米壓印曝光技術；納米超順磁性材料可控設備技術、磁熱療技術、材料表面分子設計與修飾等，其中“實用電磁型微馬達關鍵技術研究”獲2000年國家技術發明二等獎、“原位復合法抗紫外聚酯纖維”和“MEMS強鏈及其應用研究”獲2006年教育部技術發明一等獎、“同步輻射空間姿態可調連續變焦超長準直和聚焦系統”獲2006教育部科技獎專利發明一等獎。

　　研究院所屬實驗室面積為5000m2，其中凈化面積1400m2，主要設備：高真空納米薄膜濺射系統、多靶磁控濺射系統、雙面光刻機、反應離子刻蝕儀、掃描電子顯微鏡、電化學分析儀、等離子增強化學氣相沉積儀、電子束蒸發沉積設備、真空熱壓機、俄歇電子能譜儀、表面輪廓儀、氧化擴散爐、4噸18兆去離子水系統、高效液相色譜儀、熒光分光光度計、Zata電位分析儀等設備構成微器件與微系統研究和納米生物醫學與納米器件研究的主要裝備。

　　研究院有中科院院士一名，兼職院士二名、長江學者一名，校特聘教授一名、教授（包括研究員3名）14名，副教授14名，博士生導師10名，兼職博士生導師4名；通過來自物理、化學、材料、電子、計算機、精密機械、自動化、生物等學科的多年凝煉與融合，已形成一支多學科交叉的學術和研究隊伍。